超高純電子特氣管道系統的真正含義

2019-10-09 00:00:00

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半導體,集成電路,生物制約行業輸送超純介質(氣體)的高純氣體管路是一種綜合考慮組織安定性,耐蝕性,加工性的最優化不銹鋼管。要確保系統中立,我們要強調表面粗糙度Ra 值和自身的潔凈,使顆粒發生和堆積滯留得到有效抑止。為了確保可焊接性及焊接質量,要求保證尺寸公差,母材的化學成分。這樣才能確保在焊接時降低煙氣的發生,顆粒的產生及提高焊接部位的耐蝕性和平滑性。

總而言之, 高純管路既要有漂亮的外表 (外在的純凈), 又要有貨真價實的材質 (內在的純凈)。

1、外在的純凈,有別于傳統不銹鋼管道內外表面灰蒙蒙,凹凸不平的感覺,現在的超純氣體管道不僅有锃亮的外表,同時也有較好的內表面粗糙度, 以確保管道系統對傳輸的介質保持中立以及保證最佳的徹底吹掃及清洗性能, 現在工程師及技術人員常常提及的表面粗糙度Ra 值就是對管道系統內表面粗糙度的基本要求。為了確保自動軌道焊接的質量和效率,尺寸公差當然也是最基本的要求。

2、內在的純凈指純凈的材質:真正意義上的超純,氣體管道僅有漂亮的內外表面是遠遠不夠的,對管道系統的材質也有非常苛刻嚴格的要求,無論對化學成分和機械性能都有一定的定義。所以我們提到的純凈管道是由純凈的316L制成,指不銹鋼中的不純物盡量降到一定范圍內,非金屬夾雜物以及氣體成分控制在最小極限，而高純潔凈管的級別可分為BA和EP級，超高純電子特氣管道系統用的一般是316LEP級的不銹鋼管，就是電解拋光不銹鋼管。

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